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化学气相沉积钨(CVD-W)相关论文
化学气相沉积钨中氘热脱附特性的定量分析
利用不同升温速率的热脱附谱法(TDS)研究了化学气相沉积钨(CVD-W)经70 eV/D、1.3×1025 D/m2的氘离子辐照后,样品中氘的热脱附特性。结......
期刊
化学气相沉积钨(CVD-W)
氘滞留
等离子体辐照
热脱附谱(TDS)
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