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半导体外延系统相关论文
半导体外延系统微区应力的EBSD研究(邀请报告)
半导体结构和器件在制造和使用过程中引入的热应力、晶格失配应力等可诱发晶体缺陷形核、改变能隙,降低器件的发光效率和灵敏度。......
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半导体外延系统
微区应力
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