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半导材料工业相关论文
兴建年产一午吨电子级多晶硅工厂的思考
<正> 半导体材料是半导体工业的基础材料。在半导体材料中用量最大和用途最广泛的是半导体硅。当今95%以上的半导体器件是用硅材料......
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