单晶AlN的体声波谐振器相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

单晶AlN的体声波谐振器相关论文

基于AlN的体声波滤波器材料、器件与应用研究进展

在5G通信时代，体声波（BAW）滤波器件成为实现高性能射频（RF）滤波的有效解决方案。在当前BAW器件发展最成熟的薄膜体声波谐振器（FBAR）技术和......

期刊

AlN薄膜体声波滤波器材料生长设备制造单晶AlN的体声波谐振器

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