单晶硅湿法刻蚀相关硕士博士期刊学术论文

单晶硅湿法刻蚀技术是指应用化学溶液腐蚀的手段在硅材料上制作微纳结构的技术。为降低硅器件表面粗糙度，超声波作为辅助手段被广泛......