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压力敏感环形波纹状氮化硅膜相关论文
具有复杂结构的硅基MEMS压力敏感膜片的制作及其应用研究
MEMS (Micro Electro Mechanical System)技术是近代迅速发展起来的一项高新科技,具有微型化、集成化、可批量生产和多学科交叉等......
学位
MEMS
光刻胶
光刻掩模版
湿法刻蚀
干法刻蚀
ICP-98A
压力敏感环形波纹状氮化硅膜
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