压电微位移器相关论文
表面形貌的测量理论与方法研究是测量领域的研究热点之一，近年来国内外提出了多种新的表面形貌测量方法。本文提出了一种基于三维驱......
精密微进给平台是实现纳米级定位与加工的关键技术。本文介绍了基于PZT的纳米级微进给平台设计与研究的现状，指出下一步的研究方向......
对多层独石式压电微位移器的陶瓷／内电极层界面进行扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和扫描电声显微镜（ＳＥＡＭ）的无损观察，发现该界面在ＳＥＭ和ＳＥＡＭ观察得到的像所给出的......
为实现动静态特性理想的压电微位移器控制,提出一种前馈控制和PI控制相结合的微细位移控制算法。对该压电微位移器进行迟滞特性实......
介绍了压电微位移器在超微定位系统中的应用，给出了一种二维超微定位机构及其控制系统，实验结果：定位系统行程１０μｍ，定位精度１０ｎｍ，定位分辨力２ｎｍ。......
