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压电微音叉具有良好的谐振特性,并易于实现其振动的检测。利用这些特性,与钨探针结合,构成了一种新型的表面轮廓扫描测头。该新型测头......
压电微音叉具有谐振频率稳定、品质因数高和易于实现音叉臂的振动检测等优点。利用微音叉的这些特性,将其与钨探针结合,构成了压电......
扫描探针显微镜(SPM)在微机电学、化学和生物医学等方面有着广泛的应用前景。本文研究了一种由压电微音叉作为测头的扫描探针显微......