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科技的高速发展拓宽了人类的研究领域,从传统的宏观对象研究逐步转变为微观世界的探索已经成为主流。在众多超精密制造、测量以及......
压电陶瓷驱动平台的精度和动态特性主要取决于所设计的控制器是否可以有效地补偿压电陶瓷固有的迟滞特性.针对这一问题,提出了一种......
对位置传感器的标定通常采用压电陶瓷平台驱动样品池,使固定在样品池底部的直径为2.5μm的聚苯乙烯微球穿过轴向位置不同的光阱,......
压电陶瓷驱动平台的迟滞非线性影响其定位精度,并降低原子力显微镜等微纳操纵系统对微纳米尺度样品的扫描成像质量。采用最小二乘......
近几十年来,压电陶瓷驱动器作为定位平台在扫描隧道显微镜,原子力显微镜,微型机器人手臂等微/纳米测量以及制造领域得到了广泛的应......
