压电雾化喷涂相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

压电雾化喷涂相关论文

RZJ-304光刻胶压电雾化喷涂工艺及其应用

在自主搭建的压电雾化喷涂系统上，以RZJ-304正性光刻胶为研究对象，圆形抛光硅片为基材，研究了稀释体积比、预热温度以及喷涂层数对光......

期刊

正性光刻胶压电雾化喷涂平均厚度均匀性抛光硅片方形结构 positive photoresist piezoelectric spraying aver

基于压电雾化喷涂的光刻胶涂覆工艺及其应用研究

本文在自主搭建的压电雾化喷涂系统上,以RFJ-210负性光刻胶为研究对象,抛光硅片为基材,分别研究了稀释体积比、速度以及距离等喷涂......

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负性光刻胶压电雾化喷涂平均厚度均匀性抛光硅片凸台结构

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