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压阻放大效应相关论文
带恒温控制与自校正功能的硅铝异质结构压力传感器测量系统研究
MEMS压阻式压力传感器是在气象探测和车联网等领域有着重要应用的前向通道接口。传统硅基压力传感器普遍具有低灵敏度、温度漂移和......
学位
硅铝异质结构
压阻放大效应
温度补偿
恒温控制系统
时间漂移
自校正
带恒温控制与自校正的硅铝异质结构压力传感器研究
传统硅基压力传感器普遍具有灵敏度低、温漂和时漂明显等半导体器件固有属性。本文提出的硅铝异质结构MEMS压力传感器及其恒温控制......
期刊
硅铝异质结构
压阻放大效应
温度补偿
恒温控制系统
时间漂移
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