厚胶光刻工艺相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

厚胶光刻工艺相关论文

高深宽比微纳层次结构仿壁虎脚毛制作工艺研究

自然界中壁虎具有非常优秀的吸附能力,可以自由行走在光滑的墙壁上,甚至是天花板上。壁虎脚毛的分级层次结构,尤其是高深宽比的微......

学位

壁虎粘附仿生 ICP硅刻蚀工艺厚胶光刻工艺微模塑成型工艺 PDMS SU-8

厚胶光刻工艺技术

通过对Ma-P100正性厚胶光刻技术的研究，初步解决了厚胶工艺易出现的胶的均匀性问题，厚胶长时间曝光工艺，用普通曝光机获得了厚度为60......

期刊

厚胶光刻工艺抗蚀剂 Ma-p100 曝光工艺集成电路 Photolighograph Resist Process

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