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厚金属狭缝相关论文
基于厚金属狭缝阵列的表面等离子激元光刻
提出一种利用厚金属狭缝阵列耦合激发表面等离子激元制作非周期图形的纳米光刻模型.采用时域有限差分电磁场模拟仿真软件研究了厚金......
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光刻
厚金属狭缝
时域有限差分法
表面等离子激元
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