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去除非均匀性相关论文
双面抛光去除非均匀性研究
随着半导体集成电路的发展,硅片的直径逐渐增大。虽然小直径硅片仍采用单面抛光加工,但为追求较好的抛光质量,双面抛光已逐渐成为......
学位
双面抛光
数值模拟
去除非均匀性
边缘过抛
局部平整度
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