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双层膜驻极体相关论文
基于微型球支撑的MEMS发电机
微型发电机是MEMS(Micro Electromechanical System)领域的一个重要研究方向。随着电子系统的尺寸不断减小,研制体积小、重量轻、能......
学位
MEMS发电机
微型球支撑
单晶硅V型槽
PECVD
双层膜驻极体
振动频率
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