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双质量硅微机械陀螺相关论文
双质量硅微机械陀螺耦合误差机理研究
硅微机械陀螺是一种利用科氏效应敏感物体转动角速率的微机电系统(MEMS)惯性传感器。以其体积小、质量轻、低成本、低功耗等优点广泛......
学位
双质量硅微机械陀螺
加工误差
正交耦合系数
封装
温度系数
双质量硅微机械陀螺的固有频率温度及特性研究
双质量硅微机械陀螺装置是根据计算机电控系统技术的主要原理内容进行梳理的,并联合新型结构的调整措施实现整体小体积、轻质量、低......
期刊
双质量硅微机械陀螺
电耦合信号
温度效应
特性内容
现状分析
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