双阴极辉光放电法相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

双阴极辉光放电法相关论文

双阴极辉光放电合成功能薄膜的研究

介绍了一种新的等离子化学气相合成功能薄膜的方法—不等电位空心阴极效应法（简称双阴极辉光放电法）及其基本原理。采用此法在Ｓｉ、Ｍｏ、Ｔｉ等......

会议

不等电位空心阴极效应放电合成双阴极辉光放电法立方氮化硼薄膜金刚石薄膜气相合成离子化学功能薄膜原理基片方法

看过本文同时还关注