反应射频磁控溅射法相关硕士博士期刊学术论文

本文采用反应射频磁控溅射法成功的制备了氮化铜(Cu3N)纳米薄膜.运用四探针法测量了薄膜的电学和半导体特性,证明了实验制备得到的......