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反应激波刻蚀相关论文

单晶硅反应激波刻蚀试验研究

提出基于脉冲超声波聚焦的反应激波刻蚀加工方法，采用大功率压电陶瓷激波发生器，在液体介质中产生聚焦脉冲超声渡（频率1MHz），由于传输过......

期刊

反应激波刻蚀脉冲超声波硅湿法腐蚀蚀除率 reactive shockwave pulse ultrasound silicon wet etching

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学位

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