该工作利用光学发射光谱技术对TEACO,,2>激光诱导SiH等离子体反应碎片的时间特性进行了测量，分析了碎片的产生和反应机制。提出碎片......

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本工作利用光学发射光谱技术对ＴＥＡＣＯ２激光诱导ＳｉＨ４等离子体反应碎片的时间特性进行了测量，分析了碎片的产生和反应机制。提出碎片Ｓｉ，Ｓｉ＾＋等主要为一级......