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反应离子深刻蚀（DRIE）是目前MEMs加工中便捷有效的主流加工工艺之一．开发较为快捷有效的工艺仿真模型与工具，对于工艺的数值预报，有着重......
本文概述了微机的发展前景和反应离子刻蚀技术在微机械研究中的应用。采用ＮＦ３ＴＳＦ６／ＣＣｌ２Ｆ２混合气体，在平板型反应离子刻蚀仪上，对硅进行了反应离子深......
基于MEMS的电容式压力传感器以其低成本高性能在气象测量中有着广阔的应用前景。利用ANSYS软件模拟接触式电容压力传感器的工作状......
论述了基于反应离子深刻蚀技术加工惯性约束聚变（ICF）靶的硅支撑冷却臂。利用扫描电子显微镜、白光干涉仪和视觉显微系统等对所制备......
针对反应离子深刻蚀中硅/玻璃键合结构的footing效应问题,用实验方法进行了研究.通过2～4和0.01～0.03Ω·cm两种不同电导率的硅结......
提出了一种检测模态解耦的z轴微机械陀螺,其检测模态被约束为1自由度振动,可抑制驱动模态的影响,降低不期望的检测模态偏置,并使用......
