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双频容性耦合等离子体无碰撞电子反弹共振加热研究
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容性耦合等离子体
反弹共振加热
双探针
发射光谱
双频容性耦合等离子体中电子无碰撞反弹共振加热
双频容性耦合等离子体源(Dual Frequency Capacitively Coupled Plasma, DF-CCP)由于具有独立控制等离子体密度和轰击到极板表面上......
学位
双频容性耦合等离子体
低气压
反弹共振加热
电正性放电
电负性放电
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