各向异性湿法刻蚀是MEMS器件加工的重要工艺,对不同微型结构制备具有不同的作用,而各向异性湿法刻蚀技术的研究特别对蓝宝石图形化......

简要介绍了石英MEMS传感器工作原理、敏感芯片结构及加工工艺,着重阐述了石英晶体各向异性刻蚀机理及湿法刻蚀工艺技术,针对影响湿......

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作为一种新型的透射光栅,自支撑闪耀透射光栅集中了透射和反射光栅的优点,同时避免它们的缺点,在激光惯性约束核聚变(ICF)、 X射线......

利用单晶硅在KOH溶液中的各向异性刻蚀特性,在相对Si（111）面切偏角为5°的单晶片上制作了1200gr/mm的真空紫外闪耀光栅。结合全......

基于石英晶体各晶面的湿法刻蚀速率,研究了石英微结构侧壁形貌的预测方法,讨论了各向异性湿法刻蚀石英的规律。首先,总结了石英各......