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同频耦合干扰相关论文

硅微谐振式压力传感器中的单端口静电激励-电容检测方法研究

采用静电激励-电容检测方式的硅微谐振式压力传感器具有温度稳定性好、灵敏度高、功耗低等优点,但同频耦合干扰是限制电容检测精度......

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静电激励/电容检测硅微谐振式压力传感器同频耦合干扰频域分离法

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