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后续退火工艺相关论文
直流磁控溅射法制备新型窄带隙薄膜光伏材料β-FeSi<,2>的研究
低温半导体相的铁硅化合物β-FeSi2以其优越的性能在近几十年来受到了国内外相关人士的广泛关注,逐渐成为热电、光电子、微电子和光......
学位
β-FeSi2薄膜
直流磁控溅射法
后续退火工艺
光电性能
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