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沉积含Si过渡层对于不锈钢上沉积的DLC薄膜的性能影响
本文介绍了采用RF-PECVD法在3Cr13不锈钢基体圆片上沉积制备类金刚石多层膜,其内层薄膜为掺Si的过渡层,外层为不同厚度的在50nm~100......
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DLC film
RF-PECVD
Si-doped transition layer
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