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含氟一氧化硅相关论文

超大规模集成电路中低介电常数SiOF薄膜研究

详细介绍了低介电常数的含氟氧化硅(SiOF)介质薄膜制备的工艺，并分析了试样的FTIR光谱，发现薄膜中大部分的氟以Si—F键形式存在。C-V......

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超大规模集成电路介电常数含氟一氧化硅 ULSI 薄膜 chemical vapor deposition C-V characteristics die

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