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弯曲悬臂梁静电执行器驱动特性的实验研究
研究了一种弯曲悬臂梁静电执行器。该悬臂梁一端固支 ,另一端自由翘离基底。在静电力作用下 ,悬臂梁粘连的位置和长度会改变 ,使得......
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弯曲悬臂梁
静电执行器
驱动特性
粘连
吸下电压
MEMS执行器
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