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空气阻尼效应对微驱动器响应时间的影响
本文从平板电容式微驱动器的模型出发,通过求解雷诺方程,得到了空气压膜阻尼系数和阻尼力矩的分析公式。结合动力学方程,介绍了微驱动......
会议
空气压膜阻尼效应
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