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本文介绍为建立气体流量标准装置而研制的专用电子天平,其最大称量为3t,读出能力为1g,总不确定度不大于2g。该天平的横梁为不等臂杠杆,采用由......
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针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭......