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四边固支薄膜相关论文
MEMS硅微谐振式压力传感器压力检测元件的设计与研究
硅微谐振式压力传感器是微传感器中重要的研究对象之一。其压力检测元件主要由一次敏感元件压力膜和二次敏感元件谐振梁组成。本文......
学位
压力传感器
四边固支薄膜
叠加载荷
挠度
固有频率
灵敏度
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