固结磨粒加工相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

固结磨粒加工相关论文

二维超声振动辅助固结磨粒加工技术及实验研究

化学机械抛光(CMP)加工应用广泛，由于游离磨粒的加工特点，使得加工中材料去除量极其微小，可以获得很好的表面粗糙度。但与固结磨粒加......

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二维超声振动固结磨粒加工化学机械磨削表面粗糙度单晶硅片

先进硬脆材料的椭圆超声辅助固结磨粒化学机械抛光研究

得益于其优异的光学、电学、磁学性能,以先进陶瓷、光学玻璃以及新型半导体材料为代表的硬脆性材料被广泛应用于先进光电行业。然......

学位

硬脆性材料超精密抛光固结磨粒加工化学机械抛光椭圆超声振动

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