图形转移层工艺相关论文
纳米结构是研究纳米科技的物质基础，随着集成电路特征尺寸的不断减小，传统的光刻技术正面临成本和工艺的重重困难，已成为当今世界科学......
研究了紫外纳米压印技术的图形转移层工艺，通过改变膜厚进行压印对比实验，将转速控制在3000-4000r／min，成功地得到了50nm光栅结构询高......
