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高κ围栅MOSFET器件的栅极隧穿电流研究
随着器件尺寸的不断缩小,栅极氧化层厚度也不断减小,这导致器件的栅极泄露电流迅速增大,从而影响器件的静态功耗、可靠性以及工作性能......
学位
圆柱围栅
MOSFET
直接隧穿
栅极电流
解析模型
高κ栅介质
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