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该文通过对准分子激光微加工光路系统的研究,对已有的准分子激光微加工光路系统进行了改进.为了检验经过改进的系统的实验微加工状......
准分子激光微细加工技术以其较高的精度,较低成本及较快加工速度在微机械加工领域受到了极大的重视.它利用准分子激光波长短、光子......
以准分子激光在半导体微光刻技术、脉冲激光沉积、平板显示器加工制造以及激光钻孔中的应用为例,阐述了准分子激光光束均匀化的重......
针对351nm波长的XeF准分子激光器，自行设计了用于高精度、高产率、大面积且常规抗蚀剂曝光的印刷电路板（PCB,）激光投影成像照明系统。......
设计了一套基于积分原理的准分子激光透镜阵列均束系统.通过对18块4 mm×40 mm的柱面透镜叠放,组成9×9级的透镜阵列,将光......
为了提高激光光束的应用水平,需要将高斯光束整形为平顶光束。分析了非球面高斯光束均束器的基本原理和设计理论,选用超高斯光束函......
351nm波长的准分子激光器由光波导管作为激光均束器,直接输出正六角形均匀分布的照明光束,能在大面积激光投影光刻中实现无缝扫描......
