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垂直转接结构相关论文
一种基于MEMS工艺的365GHz硅微波导垂直转接结构
基于微电子机械系统(MEMS)工艺设计并制作了一种THz垂直转接结构,该结构采用6层硅片堆叠的硅微波导形式.理论分析计算了垂直转接结......
期刊
微电子机械系统(MEMS)
太赫兹(THz)
硅微波导
垂直转接结构
硅
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