• 不 限
  • 期刊论文
  • 硕博论文
  • 会议论文
  • 报 纸
  • 英文论文
基蚀相关论文
    过热的中性束蚀刻
    平均平动能量为４．８ｅＶ的过热氟原子的脉冲束已经用来证明硅的各向异性蚀刻。在１．４Ｈｚ工作下，距离脉冲束源为３０ｃｍ的地方已测得Ｓｉ的室温蚀刻率为３００Ａ／ｍｉｎ。在单碰......
    期刊
    中性束 蚀刻 半导体器件 蚀刻 基蚀