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1.3μm垂直腔面发射激光器中的电流限制孔径工艺研究
实验上研究了通过选择性湿法腐蚀方法制作1.3μm垂直腔面发射激光器(VCSEL)的电流限制孔径。对InP、InAlAs两种材料的侧向腐蚀试验......
会议
垂直腔面发射激光器
选择性湿法腐蚀
隧道结结构
InAlAs材料
增益谱峰值
孔径工艺
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