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微构件所受超声辐射力理论研究
为了将超声波俘获技术应用到微机电系统中,以达到对微构件进行无损、非接触遥操纵的目的,开展了微构件在超声波场中所受辐射力的理......
期刊
微构件
操纵
超声波辐射力
声势井
micro-component manipulation ultrasonic radiation force acoust
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