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贴片胶的选择和贴片工艺对MEMS封装器件的可靠性和有效性影响很大。针对贴片胶固化时热效应的影响,分析复合量程微加速度计封装热......
随着MEMS技术的广泛应用，加速度计阵列研究已经成为MEMS器件研究的重要研究方向。复合量程加速度计是覆盖0-10g到0-1万g的加速度计......
