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多层铜线互连工艺相关论文
集成电路迈向90nm新工艺
介绍集成电路制造技术90 nm最新工艺的一些动态及采用的新技术,如应变硅、50 nm晶体管栅极长度,并对今后集成电路的发展做了简单展......
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