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一种新型的低导通电阻折叠硅SOI LDMOS
提出了一种具有折叠硅表面SOI—LDMOS(FSOI—LDMOS)新结构.它是将硅表面从沟道到漏端的导电层刻蚀成相互排列的折叠状,且将栅电极在较......
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