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多晶硅性能相关论文
β-Si3N4涂层的制备及高效多晶硅性能研究
目前以α-Si3N4为主晶相的氮化硅涂层在半熔高效多晶硅铸造工艺中被广泛的应用,但其缺点是结构疏松及易脱落,造成渗硅和粘锅风险。......
学位
β-Si3N4涂层
晶粒细化
制备方法
抗脱落性
全熔工艺
多晶硅性能
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