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多波形偏压相关论文
多波形脉冲偏压电源控制系统研制与CrN薄膜制备
磁控溅射技术是目前薄膜制备领域中最常用的技术之一,具有低温、高效两大优势。在膜层制备过程中,通常在基体上施加一定的负偏压配......
学位
磁控溅射
单片机智能控制
多波形偏压
CrN薄膜
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