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多相复合靶相关论文
几种典型MAX相陶瓷涂层的低温高效制备、微观结构和性能研究
MAX相陶瓷是一类新型的三元层状化合物,兼具金属和陶瓷的优良性能,如良好的导热导电性、化学稳定性、耐腐蚀、抗氧化性、耐摩擦磨损......
学位
MAX相涂层
室温沉积
后续热处理
多相复合靶
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