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大口径平晶自重变形相关论文
立式斐索干涉仪的平面绝对检验技术研究
干涉测量作为一种检测光学元件面形的常用方法,受到干涉仪参考平晶面形精度的制约,测量结果中含有参考平晶的面形误差。随着光学元......
学位
干涉测量
平面绝对检验
三平晶四面互检法
大口径平晶自重变形
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