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大晶粒pc-Si薄膜相关论文
大晶粒多晶Si薄膜的结构特征与光电特性
本工作采用高频感应化学气相淀积(HFCVD)技术,以SiH4为反应气体源,在石英衬底表面上制备了大晶粒多晶硅(pc-Si)薄膜。实验研究了衬底温度......
学位
高频感应化学气相淀积
大晶粒pc-Si薄膜
原位掺杂
nc-Si:H/pc-Si异质结
光电特性
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