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FZ-14-1区熔炉特性及拉晶工艺研究
本文介绍了 FZ-14-1区熔炉较 FZ-14区熔炉新增的一些特性,同时重点介绍了φ60mm-φ 105mm 区熔本征单晶的拉制工艺,并对气相掺杂和......
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