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微悬臂梁弯曲法测量3C-SiC薄膜断裂强度
针对恶劣环境下MEMS对高强度材料的需求,采用化学气相沉积(CVD)外延生长3C-SiC薄膜.利用微力学操纵系统,对3C-SiC微悬臂梁进行了弯......
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3C-SiC薄膜
微悬臂梁
弯曲实验
威布尔统计
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