孪生对靶相关论文
本文讨论了采用孪生对靶直流磁控溅射方法制备ZnO：Al（ZAO)薄膜材料，考察一定工艺条件下制备的ZAO 材料的霍耳迁移率、可见光透射率、......
由于制备低阻ZnO时功率比较大(相对本征ZnO而言),故溅射对薄膜衬底轰击较大.为了尽量减少溅射带来的轰击影响,我们采用了孪生对靶......
ZnO是一种II-VI族的宽禁带结构的多功能材料，为六角纤锌矿结构，具有优良的压电、光电、气敏、压敏等特性，近年来受到普遍关注。掺杂的......
随着太阳能应用技术的不断发展，对于薄膜太阳电池各功能材料层的性能要求也越来越高，透明导电膜作为薄膜太阳电池的窗口电极对于太阳......
采用对向孪生靶溅射ZnO∶A l(ZAO)薄膜可减少等离子体对基底薄膜轰击损伤,沉积速率与结晶程度高;不同气压溅射的ZAO薄膜,其透光率......
采用中频反应磁控溅射技术沉积ZrN薄膜,在真空镀膜机内对称安装了3对矩形孪生靶。利用等离子体发射光谱和质谱仪QMS200分别实时监......
本文以ZnO：Al（ZAO）陶瓷为靶材，采用孪生对靶直流磁控溅射工艺在玻璃衬底上制备出高质量的铝掺杂氧化锌透明导电膜，研究了该薄膜的结构、......
